5635离子棒

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平
衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用MP 技术 - 把高频正
旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635
MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整，使
它达到超越 Class 1 洁净水平的 “Extended ISO Class 1*”洁净度，适合更微小的先进技术制
程。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和
有更远的工作距离。
Aerobar 5635 MP 离子棒 的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平
衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，
这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。
特点优点
• Extended ISO Class 1 的洁净度 (使用默认
最佳设定和没有吹气辅助)
• 可兼容包括 22 nm 和以下的所有晶圆技术
• 调制脉冲技术• 精准的正负平衡，高离子输出量，和长期稳定
• 卓越的横向均匀度• 整根棒的离子平衡都一致
• 低电场电压• 可安全靠近晶圆或光罩，放置距离可近至 15 cm
• 吹气辅助功能• 在快速的自动设备，能增强消除静电的能力
• 1/4 转扭出风嘴• 能快速更换，减少机器停顿时间
• 选配的软件有易用的介面和宽阔的可调性• 在任何环境都能快速设定和容易调至最佳效能
• 警报输出信号• 能输出至设备或远端监控系统
* Extended ISO Class 1 的定义在后页。