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产品名称CyberOptics晶圆振动量测系统（AVS）
产品分类测试仪
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CyberOptics晶圆振动量测系统（AVS）

1、WaferSense™ AVS设备介绍：
AVS可以用于实时监测晶圆在工艺过程中的振动情况，这些振动数据能通过设备内置的X、Y、Z三轴传感器实时检测到，并能以时间曲线图像以绝对或相对值显示在软件中。
它的一个典型应用就是能模拟晶圆跟随工艺段产品线或某个机台检测生产过程中的振动情况。
2、无线通讯：
AVS在传感器及接收器中采用了2.4GHz RF（蓝牙）无线通讯模式，方便与电脑连接，无线通讯抗干扰能力最远支持到100米。
3、连接方式：
AVS设备通过一个USB1.1适配器与电脑连接来保证与传感器的无线通讯。
4、VibeView™应用软件：
AVS设备能实时检测振动，并将振动数据（每秒读取1000次）传回到VibeView软件中。极限预警设置能让您时刻处于监测状态，超出极限时会显示报警提示。你也可以添加标签及保存记录文件以便于查看，同时显示参数包括电池寿命、传感器温度及设备连接状态。
5、VibeReview™应用软件：
VibeReview用于浏览回顾VibeView记录的振动数据文件，你可以通过比较两个振动数据文件来判定测试环节中状态的变化。

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