产品目录 Product list | | 产品名称 | CyberOptics 晶圆气体微颗粒侦测系统（APS） | | 产品分类 | 测试仪 | | 产品询价 产品信息 |  CyberOptics 晶圆气体微颗粒侦测系统（APS）1、产品描述：
WaferSense APS可以用于半导体制程设备及自动化系统中实时监测工艺环境中的微小颗粒。晶圆式样使它应用范围更加广泛，能更加匹配当前自动化设备；同时它的无线量测技术可以提供实时数据采集，加速设备认证，降低生产风险。利用配套的记录及浏览软件使您处理数据更加方便，可以进行当前及历史数据、不同机台数据对比。APS是您在半导体行业解决实际问题的好帮手。
2、主要特性：
2.1 晶圆式样包装：
• 碳纤维复合材料，可以在大多数晶圆放置的地方测试；
• 尺寸：符合SEMI半导体要求,200mm、300mm直径，含方向标记；
• 厚度及质量：8.0mm厚，300mm直径重约270g;200mm直径重约200g；
2.2 无线连接：
• 蓝牙，2.4 GHZ，USB 2.0，传输盒尺寸 92 mm x 58 mm x 28 mm；
2.3 Particle View™application测试软件：
• 提供实时数值及图像反馈；
• 累积或单通道计数模式；
• 微粒密度或微粒频率计数模式；
• 极限设置及报警；
• 数据记录文件；
2.4 Particle Review™application数据处理软件：
• 数据记录文档、图像回顾及后续分析；
2.5 操作系统：
• Windows®XP,Vista 以及 Win 7.
3、主要参数：
3.1 流速：0.1立方英尺/分钟（2.8升/分钟）@ 1个大气压；
3.2 通道尺寸：0.1微粒&0.5微米；
3.3 对于0.15微粒粒径计数效率≥30%，满足NIST可追溯条款；
3.4 对于0.1微米及0.14微米粒径计数效率< 30%；
3.5 错误计数率 ≤25 个/小时；
3.6 操作压力 0.4-1.6大气压；
3.7 操作温度15°C to 45°C，非冷凝环境；
3.8 充满电，电池使用时间≥1小时；
4、随机配件：
• APS检测设备；
• 净化设备；
• 通讯连接组件；
• 配套使用软件；
• 便携保护盒；
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