产品目录 Product list | | 产品名称 | CyberOptics晶圆水平与垂直角度量测系统（ALS2V） | | 产品分类 | 测试仪 | | 产品询价 产品信息 |  CyberOptics晶圆水平与垂直角度量测系统（ALS2V）1、设备功能介绍：
通过测试机台水平倾斜、起伏、垂直倾斜快速调节机台角度，提升制程均匀度和跨机台的一致性。
1.1、设备优化设置：
▪ 可以测量夹具、传送盒、末端执行设备、校准器、负载制动、传递针和真空腔支架来全面校准保护您的机台；
▪ 使用晶圆式样及真空兼容性的ALS2V设备可以检测不容易接触到的工厂环境；
1.2、保证水平调整的一致性和可重复性：
▪ 设备调整客观情况下需要忽略人为因素；
▪ 通过LevelView软件图表用户界面可以快速方便浏览存储测量数据；
▪ 每次都能调整到最佳状态；
▪ 通过可重复性操作能满足tool-to-tool一致性；
▪ 通过水平角度测量容易检测到异常沉积环和倾斜层；
▪ 通过垂直角度测量能加强离子植入过程的控制；
1.3、通过无线测量能降低设备维护周期：
▪ 无线搜集显示倾斜数据；
▪ 实时查看设备调整效果，加快设备校准时间，提高生产效率；
1.4、通过改进设备设置能减少颗粒产生，增加产量：
▪ 保证晶圆在夹具、转运盒过程中与机械手臂水平，保证晶圆传输安全性和准确性；
▪ 通过调整传输针与基座和末端执行设备的水平能尽量减少颗粒的产生；
▪ 通过精确的调整能最大化优化电镀和离子植入过程；
2、设备参数：
2.1、无线，晶圆式样以及电池供电：
有200mm、300mm、450mm尺寸。ALS2300C（标准版本，不含垂直测量功能），ALS2V300C（标准版本，含垂直测量功能），ALS2300CL（轻便版本，不含垂直测量功能），ALS2V300CL（轻便版本，含垂直测量功能），ALS2200C（轻便版本，不含垂直测量功能），ALS2V200C（轻便版本，含垂直测量功能）；
2.2、方便使用的应用软件：
包含LevelView和LevelReview软件；
LevelView软件：实时显示视觉反馈，同时精确显示测量数值；
LevelReview软件：回顾浏览记录数据表，以及后续数据分析；
2.3、高精度：
水平精度：绝对水平+/- 7 度测量范围内达到 +/-0.03 度精确度；
垂直精度：垂直+/-50 度测量范围内达到+/-0.05度精确度；
水平分辨率：+/-14度测量范围内达到+/-0.002度分辨率；垂直分辨率：+/-50度测量范围内达到+/-0.01度分辨率；
2.4、两个不同轴向倾斜报告：
快速显示倾斜及翻转，便于精确校准；斜率和极坐标显示模式使测量更加方便易懂。
2.5、相对测量：
相对测试可以在系统操作范围内任意参考平面设置相对零坐标。
2.6、耐用材料：
碳纤维复合材料。
2.7、质量：
150克（200mm）,200g(300mm CL), 240克（300mm C）,600克（450mm）。
2.8、操作压力：
<10e-6至760 torr。
2.9、操作温度：
20至70摄氏度。
2.10、电池续航能力：
每次充满电使用时间大于4小时。
2.11、WaferSense连接：
蓝牙，2.4GHZ，USB 1.1，尺寸92*58*28mm。
2.12、操作系统：
Windows 7， XP以及Vista系统。
2.13、随机配件：
水平测量设备（ALS2V），充电清洁盒，便携箱，USB通讯适配器，以及应用软件。
2.14、校准：
建议每年返回原厂重新校准。
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