产品目录 Product list | | 产品名称 | CyberOptics光罩气体微颗粒侦测系统（APSR） | | 产品分类 | 测试仪 | | 产品询价 产品信息 |  CyberOptics光罩气体微颗粒侦测系统（APSR）CyberOptics 光罩气体微颗粒侦测系统APSR
1、设备介绍：
加快设备验证，提高生产效率。
使用光罩形式的APSR设备可以监测装配系统内部的微小颗粒。APSR可以跟随设备装卸过程及自动化无聊运送过程，通过无线通信可以提供实时微粒计数数据图像。光罩形式的设计使它能很好的匹配当前绝大多数的自动化装配系统。
1.1、通过无线实时监测微小颗粒可以提高设备有效性，提高生产效率。
依靠光罩传感器技术，WaferSense家族另一个被验证的量测设备从2004年起已经被半导体制造厂开始广泛使用。
1.2、通过无线量测加快设备验证时间
通过光罩形式的APSR的无线蓝牙技术及Particle View™软件实时收集显示颗粒数据。将当前设备同以前设备相比，它的优势相当明显，不仅能实时存储微粒数据，通过软件实时记录污染源工艺段位置节约诊断时间，同时对于检查工艺段洁净度、调整及维修方面提高了生产效率，节约大量时间。
1.3、缩短设备维护周期。
不用打开设备将工艺段暴露于外界环境中就能实时收集检测设备内部微粒数据，APSR可以随着工艺段检测它所能监测的区域洁净度。一旦确定污染源，设备就可以根据客户同时仅需要将待清洁区域进行进一步清洁。
1.4、降低维护成本。
使用APSR设备能够提高您首次通过检测的成功性，减少验证成本，增加实用性及有效性。同时对于设备可能出现的故障起到提前预警作用，优化预防性维护计划。通过确认的洁净设备建立有效的档案，按照计划定期使用APSR进行进一步检测，达到更好的检测目的。
2、主要特性：
光罩形式设备。
•可以放置到任何适合放置的地方
•厚度薄，质量轻便：152 mm x 152 mm x 6.35 mm
相比CyberOptics半导体其他种类的APS量测设备尺寸：200 mm, 300 mm and 450 mm更加小巧，轻便。无线蓝牙采用2.4 Hz频率，USB 2.0 尺寸92 mm x 58 mm x 28 mm，采用ParticleView应用软件。
•提供实时数据图像反馈；
•累积或者单通道计数模式；
•微粒密度或者微粒频率计数模式；
•浓度设置预警；
•使用Particle Review™应用软件记录微粒数据文件；
•回顾显示微粒记录数据，后期数据分析；
•操作系统：Windows® XP, Vista 及Win 7；
3、主要参数：
流速 0.07 CFM (2 L/min) @ 1 个大气压；
通道尺寸： 0.1 µm 及 0.5 µm；
0.15 µm 计数效率≥30%，满足NIST 可追溯条款；
每小时计数错误≤25；
操作压力0.4至1.6大气压；
操作内置温度15° 至 45°非冷凝；
每次充电使用时间≥1小时；
4、设备随机部件：
• 光罩气体微粒侦测设备；
• 密封充电盒；
• 便携箱；
• 通讯盒；
• 无限制软件授权；
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