5225S 离子棒

Simco-Ion 的 型号 5225 是一款单独使用的离子棒，特殊设计能提供高效性能，简易集成和调
节，精细的数据化设置，可在多种环境下使用 - 从设备内部到工作站，还有洁净室都可以；设置
参数有 - 工作模式，离子输出，和脉冲定频，可以全面配合应用要求。
棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造，使得 5225 离子棒在微型洁净室内，完全发挥静电
防控能力，而不干扰室内层流气流。
作为一款单独使用的离子棒，5225S 能维持重要的参数设定，保证在每次离子棒启动时，可以持
续提供良好的性能。操作参数可用手持式红外线遥控器调整；也有设备监控接口 (FMS) 可结合设
备的警报系统。
特点优点
• 所有的参数设定都存离子棒内，不需外接控
制台
• 每次系统启动工作就可持续提供的最佳效能
• 在脉冲直流或稳态直流的工作模式，所有操
作参数均可调整
• 可以配合每个现场要求，微调操作
• 多种长度选择，有三款长度是专为 EFEMs
设计的
• 可以满足不同的应用需求
• 离子输出的监控• 离子输出和效能稳定更能保持一致
• 设备监控接口 (FMS) 警报输出• 警报输出可以确保工作效能
• 单晶硅静电针• 超高洁净的静电针材质，不会对晶圆造成污染